Chế tạo hạt nano kim loại Ag, Au trên thanh nano si bằng phương pháp bốc bay laser (PLD) nhằm nâng cao hiệu suất quang xúc tác của chúng

Vật lý & Khoa học vật liệu 
 N. T. Cường, N. T. M. Huệ, N. C. Khang, “Chế tạo hạt nano  quang xúc tác của chúng.” 156 
CHẾ TẠO HẠT NANO KIM LOẠI Ag, Au TRÊN THANH NANO Si 
 BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY LASER (PLD) NHẰM 
NÂNG CAO HIỆU SUẤT QUANG XÚC TÁC CỦA CHÚNG 
Ngô Tuấn Cường1, Nguyễn Thị Minh Huệ1, Nguyễn Cao Khang2,* 
Tóm tắt: Trong nghiên cứu này, chúng tôi trình bày quy trình chế tạo các cluster 
Ag, cluster Au trên thanh nano Si theo phương pháp bốc bay laser. Bằng cách thay 
đổi số lượng xung laser bắn vào bia, các cluster Ag, Au có kích thước khác nhau 
được hình thành và bám dính trên thanh nano Si. Hình thái bề mặt, cấu trúc tinh 
thể, tính chất quang của vật liệu được khảo sát thông qua các phép đo kính hiển vi 
điện tử quét (SEM), giản đồ nhiễu xạ tia X, phổ hấp thụ UV-Vis, và phổ FT-IR. Kết 
quả nghiên cứu chỉ ra rằng các cluster Ag, Au không những bám dính trên bề mặt 
thanh Si, mà chúng còn có khả năng hấp thụ tốt ánh sáng trong vùng nhìn thấy. 
Tính chất quang xúc tác của mẫu được khảo sát thông qua phản ứng phân hủy xanh 
metylene (MB) dưới ánh sáng đèn sợi đốt. Kết quả cho thấy các mẫu chế tạo đều có 
khả năng phân hủy tốt MB, dung dịch MB nồng độ 10 ppm đã gần như bị phân hủy 
hoàn toàn sau 8 giờ chiếu sáng. 
Từ khóa: Cluster Ag; Cluster Au; TiO2; Quang xúc tác. 
1. ĐẶT VẤN ĐỀ 
Vật liệu nano kim loại nói chung và nano Ag, nano Au nói riêng đang nhận được sự 
quan tâm của các nhà khoa học bởi những tính chất quang, điện, từ đặc biệt của chúng. 
Các hạt nano Ag, Au đã được tích hợp vào đa dạng các sản phẩm từ các loại pin quang 
điện, các sản phẩm điện tử, các chi tiết cần độ dẫn nhiệt cao, tới các sản phẩm cảm biến 
sinh học và hóa học. Sự có mặt của nano Ag, Au giúp cho các sản phẩm này có độ dẫn 
diện, dẫn nhiệt cao, ổn định và có độ bền cao. Bên cạnh đó, các hạt Ag và Au ở kích thước 
từ vài trăm nm tới vài µm đã trở thành một trong những vật liệu xúc tác tốt, có nhiều ứng 
dụng trong nghiên cứu cơ bản và công nghệ bởi hiệu ứng plasmon bề mặt mạnh của chúng 
[1-3]. Khi chiếu một chùm sáng lên các hạt Ag, Au, điện trường của sóng điện từ tác động 
lên các electron tự do trên bề mặt hạt kim loại, làm electron bị phân cực và dao động theo 
điện trường [4-6]. Sự dao động này được gọi là “plasmon”. Khi tần số dao động của đám 
mây electron trùng với tần số của một bức xạ điện từ nào đó, nó sẽ gây ra sự dao động 
mạnh của hàng loạt các electron tự do, tạo nên hiện tượng gọi là “cộng hưởng plasmon bề 
mặt” (SPR) [7, 8]. Hiện tượng này là nguyên nhân dẫn tới khả năng hấp thụ ánh sáng của 
các hạt nano kim loại, từ đó làm cho chúng có khả năng quang xúc tác. 
Mục đích của nghiên cứu này là chế tạo các cluster Ag, Au có khả năng cộng hưởng 
plasmon bề mặt với ánh sáng trong vùng nhìn thấy bằng phương pháp bốc bay laser, từ đó, 
ứng dụng tính chất quang xúc tác của chúng để xử lí MB. Không những vậy, các cluster 
Ag, Au này còn được đính trên bề mặt các thanh nano Si. Sự định hướng chuyển động của 
các điện tử bởi các thanh nano Si được cho là sẽ làm tăng cường đáng kể tính chất quang 
xúc tác của các cluster Ag, Au. 
2. THỰC NGHIỆM 
Đầu tiên, các thanh nano Si được chế tạo bằng cách ăn mòn hóa học Si trong dung 
dịch gồm 50ml H2O, 1 mlH2O2 và 0,3g AgNO3 trước khi được rửa sạch và sấy khô ở 200 
oC trong 2 giờ. Tiếp đó, tiến hành phủ một lớp màng Ag hoặc Au lên các thanh Si bằng hệ 
bốc bay laser ASX-750. Năng lượng của tia laser chiếu vào các bia Ag, Au sẽ làm chúng 
bay hơi, bám dính trên đế là các thanh nano Si. Bề dày lớp màng kim loại phụ thuộc vào 
số lượng xung laser bắn vào bia. Trong nghiên cứu này, chúng tôi chế tạo 3 mẫu Ag trên 
Nghiên cứu khoa học công nghệ 
Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san CBES2, 04 - 2018 157
thanh Si và 3 mẫu Au trên thanh Si bằng cách lần lượt bắn 10000, 20000 và 30000 xung 
laser lên mỗi bia Ag, Au. Tần số của nguồn laser là 8Hz, điện áp cao tần là 29kV, áp suất 
trong buồng chân không là 10-6 torr. Sau quá trình bốc bay laser, một lớp màng kim loại 
đồng đều sẽ được phủ lên bề mặt Si. Các mẫu màng sẽ được đem nung ở nhiệt độ 400oC 
trong 1 giờ để tạo các cluser Ag, Au bám trên thanh nano Si. 
Phép đo kính hiển vi điện tử quét (SEM) được thực hiện trên hệ S-4800 Hitachi, giản 
đồ nhiễu xạ tia X được đo trên hệ D5005 Siemens, phép đo phổ hấp thụ thực hiện trên hệ 
UV-Vis Jacco V670, phép đo FT-IR được thực hiện trên hệ Jacco FT-IR 4200. 
Thí nghiệm quang xúc tác được tiến hành bằng cách cho các mẫu phân hủy MB trong 
điều kiện chiếu ánh sáng đèn sợi đốt 220V-100W. 30ml dung dịch MB nồng độ 10ppm sẽ 
được nhỏ giọt lên bề mặt mẫu có diện tích 1cm x1cm với tốc độ 2 giọt/giây. Bằng cách đo 
phổ hấp thụ dung dịch MB sau những khoảng thời gian nhất định, nồng độ MB sẽ được 
tính thông qua việc xác định cường độ của đỉnh hấp thụ đặc trưng của MB tại bước sóng 
665nm. 
3. KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 
Hình 1a cho thấy các thanh nano Si được hình thành trên đế Si. Kích thước thanh 
tương đối đồng đều đường kính từ 100 đến 200nm, chiều dài thanh khoảng 30-40μm. Các 
thanh nano gần như phát triển theo cùng một hướng. Điều này tạo điều kiện thuận lợi cho 
việc trải màng Ag, Au lên các đế Si. Hình 1b-c là ảnh SEM của mẫu cluster Ag trên thanh 
nano Si được tổng hợp bằng cách bắn 20000 xung laser vào bia Ag. Kết quả cho thấy các 
cluster Ag đã được phủ trên bề mặt các thanh Si nhưng không phủ đều trên toàn bộ bề mặt 
đế. Tuy nhiên, ảnh chụp cắt ngang của mẫu cho thấy các cluster Ag không những phủ trên 
bề mặt mà một phần các cluster Ag còn đi vào khe giữa các thanh Si. Tương tự, ảnh SEM 
của mẫu Au trên thanh nano Si (hình 1d) cho thấy các cluster Au vừa bám dính trên bề mặt 
mẫu, vừa đi vào khe giữa các thanh nano Si. Như vậy, bằng phương pháp bốc bay laser và 
xử lí nhiệt, các cluster Ag, Au đã được phủ lên các thanh nano Si. 
Hình 1. Ảnh SEM các mẫu (a) thanh nano Si, (b, c) các cluster Ag, (d) các cluster Au 
phủ nên thanh nano Si. 
Vật lý & Khoa học vật liệu 
 N. T. Cường, N. T. M. Huệ, N. C. Khang, “Chế tạo hạt nano  quang xúc tác của chúng.” 158 
Hình 2. Giản đồ nhiễu xạ tia X của hệ mẫu (a) cluster Ag trên thanh nano Si, 
(b) cluster Au trên thanh nano Si. 
Giản đồ nhiễu xạ tia X được dùng để nghiên cứu cấu trúc của các mẫu. Hình 2 trình 
bày giản đồ nhiễu xạ tia X tương ứng với hệ vật liệu chế tạo Ag/Si, Au/Si với số xung 
laser bắn là 10000; 20000 và 30000 xung. Trên giản đồ nhiễu xạ tia X của các hệ mẫu xuất 
hiện các đỉnh nhiễu xạ đặc trưng của Si (tương ứng với thẻ chuẩn JCPDS số 77-2109) tại 
các vị trí ứng với góc 2θ là 56,3o; 76,6o. Các đỉnh nhiễu xạ này tương ứng với sự phản xạ 
của chùm tia X trên họ các mặt phẳng (311) và (331). Hình 2a xuất hiện các đỉnh đặc 
trưng của Ag (tương ứng với thẻ chuẩn JCPDS số 01-1167) tại các góc 28,5o; 40,7o và 
50,6o tương ứng với sự phản xạ của chùm tia X trên các họ mặt phẳng (220), (400) và 
(422). Hình 2b xuất hiện các đỉnh đặc trưng của Au (tương ứng với thẻ chuẩn JCPDS số 
01-1174) tại các góc 28,5o; 40,8o; 44,8o và 50,7o tương ứng với sự phản xạ của chùm tia X 
trên các họ mặt phẳng (220), (400), (331) và (422). 
Hình 3. Phổ hấp thụ của hệ mẫu (a) cluster Ag trên thanh nano Si, 
(b) cluster Au trên thanh nano Si. 
Phổ hấp thụ UV-Vis được dùng để nghiên cứu tính chất quang của vật liệu. Hình 3a 
trình bày phổ hấp thụ của các cluster Ag trên thanh nano Si được chế tạo với số xung laser 
lần lượt là 10000, 20000 và 30000 xung. Kết quả cho thấy các mẫu này đều có thể hấp thụ 
tốt ánh sáng có bước sóng từ 400 tới 600nm. Khả năng hấp thụ ánh sáng nhìn thấy của các 
mẫu tăng khi số lượng xung laser tăng, nghĩa là tăng bề dày màng Ag. Đồng thời, cũng có 
sự dịch chuyển bờ hấp thụ sang vùng ánh sáng đỏ khi bề dày của màng Ag tăng như thấy 
được trên hình 3a. Tương tự các mẫu cluster Ag, các mẫu cluster Au trên thanh nano Si 
cũng thể hiện khả năng hấp thụ tốt ánh sáng trong vùng từ 400 đến 600nm. Bờ hấp thụ của 
Nghiên cứu khoa học công nghệ 
Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san CBES2, 04 - 2018 159
các mẫu này có xu hướng dịch về vùng ánh sáng có bước sóng dài khi tăng bề dày lớp 
màng Au. 
Hình 4. Phổ hấp thụ hồng ngoại FT-IR của (a) cluster Ag trên thanh nano Si, 
(b) cluster Au trên thanh nano Si. 
Phổ hấp thụ hồng ngoại FT-IR được dùng để nghiên cứu về liên kết, tính chất dao 
động của mẫu. Hình 4 lần lượt là phổ FT-IR của các mẫu nano Ag, Au trên thanh nano Si 
chế tạo với số lượng xung laser khác nhau. Do Ag và Au là những kim loại nặng, chúng 
dao động trong vùng số sóng thấp, nên không quan sát được các dao động của Ag, Au trên 
phổ FT-IR trong dải số sóng từ 600 đến 4000cm-1 như trên hình 4. Tuy nhiên, các dao 
động cũng như các liên kết của Si là khá rõ ràng. Sự xuất hiện của một đỉnh phổ ở số sóng 
1634cm-1 đặc trưng cho liên kết Si-H2. Ngoài ra, sự xuất hiện của đỉnh phổ ở số sóng 
1076cm-1 với cả các mẫu chứa Ag, Au đặc trưng cho liên kết Si-O-Si trên bề mặt các thanh 
nano Si, điều chứng tỏ trong các mẫu, đế Si đã bị oxy hóa một phần [9]. 
Hình 5. Kết quả xử lí xanh metylene của các mẫu (a) cluster Ag trên thanh nano Si, 
(b) cluster Au trên thanh nano Si. 
Tính chất quang xúc tác của các vật liệu được khảo sát thông qua việc xử lý MB. 
Hình 5 là kết quả xử lí MB của các mẫu Ag/Si, Au/Si. Từ kết quả này cho thấy, tất cả các 
mẫu chế tạo đều có khả năng xử lí MB trong vùng ánh sáng nhìn thấy. Nồng độ MB giảm 
nhanh ngay sau 1 giờ chiếu sáng đầu tiên, lên tới 56% với mẫu 10000 xung Ag trên thanh 
nano Si. Tiếp tục tăng thời gian chiếu sáng, nồng độ MB tiếp tục giảm theo quy luật hàm 
số mũ. Khả năng phân huỷ MB quan sát được bằng thực nghiệm là khác nhau với các mẫu 
khác nhau, nó phụ thuộc vào bản chất vật liệu Ag, Au, cũng như phụ thuộc vào bề dày 
Vật lý & Khoa học vật liệu 
 N. T. Cường, N. T. M. Huệ, N. C. Khang, “Chế tạo hạt nano  quang xúc tác của chúng.” 160 
màng trên thanh nano Si. Thời gian bán phân huỷ, thời gian để phân huỷ 50% nồng độ 
dung dịch, của các cluster Ag, và Au lần lượt trong khoảng từ 2 giờ đến 2,2 giờ và từ 2,9 
giờ đến 3,2 giờ, tuy thuộc vào kích thước cluster. Sau 8 giờ chiếu sáng, MB gần như đã bị 
phân huỷ hoàn toàn với các cluster Ag trên thanh Si, và bị phân huỷ tới hơn 90% với các 
cluster Au trên thanh Si. 
4. KẾT LUẬN 
Chúng tôi đã chế tạo thành công thanh nano Si có chiều dài 30-40μm, với đường kính 
từ 100 đến 200 nm bằng phương pháp ăn mòn hoá học. Các cluster Ag, Au với kích thước 
khác nhau trên thanh nano Si đã được chế tạo bằng phương pháp bốc bay laser. Kết quả 
nhiễu xạ tia X cho thấy các đỉnh đặc trưng của Si tại các góc 56,3o và 76,6o; Ag tại các góc 
28,5o; 40,7o và 50,6o; và Au tại 28,5o; 40,8o; 44,8o và 50,7o. Kết quả UV-Vis chỉ ra rằng vị 
trí đỉnh hấp thụ, cường độ hấp thụ của các mẫu chế tạo phụ thuộc vào bản chất vật liệu, 
kích thước cluster Ag, Au trên thanh nano Si, tuy nhiên, tất cả các mẫu chế tạo đều có khả 
năng hấp thụ tốt ánh sáng có bước sóng trong vùng từ 400 đến 600nm. Các mẫu cluster 
Ag, Au trên thanh nano Si đều có khả năng xử lí tốt MB trong vùng ánh sáng nhìn thấy. 
Thời gian bán phân huỷ của các mẫu trong khoảng từ 2 đến 3 giờ, và sau 8 giờ chiếu sáng, 
MB gần như đã bị phân huỷ hoàn toàn bởi mẫu cluster Ag và bị phân huỷ tới hơn 90% bởi 
mẫu cluster Au. 
Lời cảm ơn: Nghiên cứu được thực hiện dưới sự tài trợ của đề tài cấp Bộ mã số B2015-17-68. 
TÀI LIỆU THAM KHẢO 
[1]. Sharma, R. A. Yngard, and Y. Lin, “Silver nanoparticles: Green Synthesis and their 
antimicrobial activities”, Adv. Colloid Interfac., Vol. 145, (2009), pp. 83-96. 
[2]. C. Weibo, G. Ting, H. Hao, and S. Jiangtao, "Applications of gold nanoparticles in 
cancer nanotechnology", Nanotechnol. Sci. Appl., Vol. 1, (2008), pp.17-32. 
[3]. Z. Xi-Feng, L. Zhi-Guo, S. Wei, and G. Sangiliyandi, "Silver Nanoparticles: 
Synthesis, Characterization, Properties, Applications, and Therapeutic 
Approaches", Int. J. Mol. Sci., Vol. 17, (2016), pp. 1534-1539. 
[4]. H. J. Huang, C. P. Yu, H. C. Chang, K. P. Chiu, H. M. Chen, R. S. Liu, and D. P. 
Tsai, “Plasmonic optical properties of single gold nano-rod”, Optics Express, Vol. 
15, (2007), pp. 7132-7139. 
[5]. X. Huang, P. K. Jain, I. H. El-Sayed, and M. A. El-Sayed, “Gold nanoparticles: 
interesting optical properties and recent applications in cancer diagnostics and 
therapy”, Nanomedicine, Vol. 2, (2007), pp. 681-693. 
[6]. A. Rastar, M. E. Yazdanshenas, A. Rashidi, S. M. Bidoki, “Theoretical Review of 
Optical Properties of Nanoparticles”, J. Eng. Fibrer. Fabr., Vol. 8, (2013), pp. 85-
97. 
[7]. S. S. Verma, and S. S. Jagmeet, “Influence of aspect ratio and surrounding medium 
on Localized Surface Plasmon Resonance (LSPR) of gold nanorod”, Opt. Soc. 
India, Vol. 41, (2012), pp. 89-93. 
[8]. W. Zhen, “Plasmon-resonant gold nanoparticles for cancer optical imaging”, Sci. 
China. Phys. Mech., Vol. 56, (2013), pp. 506-513. 
[9]. D. Neiner, and S. M. Kauzlarich. “Hydrogen capped silicon nanoparticles as a 
potential hydrogen storage material: synthesis, characterization, and hydrogen 
release”, Chem. Mater., Vol. 22, (2010), pp. 487-493. 
Nghiên cứu khoa học công nghệ 
Tạp chí Nghiên cứu KH&CN quân sự, Số Đặc san CBES2, 04 - 2018 161
ABSTRACT 
SYNTHESIS OF Ag, Au CLUSTERS ON SI NANOROD WITH ENHANCED 
PHOTOCATALYTIC EFFICIENCY BY PULSED LASER DEPOSITION 
In this article, the clusters Ag, Au on the nanorod Si were prepared by pulsed 
laser deposition (PLD). By controlling the number of laser pulses, the clusters of 
Ag, Au with different sizes will be synthesis. The properties of the sample are 
investigated by using scanning electron microscope, x-ray diffraction, FTIR 
spectroscopy, and UV-Vis spectroscopy. The results show that the clusters Ag, Au 
not only attach well to the nanorod Si but also high absorb of light in the visible 
region. The photocatalytic performance was tested by photocatalytic degradation of 
methylene blue (MB) under visible-light irradiation. The results suggest that the 
clusters Ag, Au on nanorod Si catalysts exhibit high photocatalytic efficiency, all 
most MB molecules were degraded after 8 hours. 
Keywords: Cluster Ag; Cluster Au; TiO2; Photocatalytic. 
Nhận bài ngày 28 tháng 02 năm 2018 
Hoàn thiện ngày 20 tháng 3 năm 2018 
Chấp nhận đăng ngày 02 tháng 4 năm 2018 
Địa chỉ: 1 Khoa Hóa học, Trường Đại học Sư phạm Hà Nội; 
 2 Khoa Vật lí, Trường Đại học Sư phạm Hà Nội. 
 *Email: khangnc@hnue.edu.vn.