Nghiên cứu các đặc trưng của laser bán dẫn công suất cao phản hồi phân bố phát xạ vùng hồng ngoại gần ứng dụng bơm laser rắn pha tạp Ytterbium

Trường Đại học Vinh Tạp chí khoa học, Tập 47, Số 2A (2018), tr. 39-44 
 39 
NGHIÊN CỨU CÁC ĐẶC TRƢNG CỦA LASER BÁN DẪN CÔNG SUẤT 
CAO PHẢN HỒI PHÂN BỐ PHÁT XẠ VÙNG HỒNG NGOẠI GẦN 
ỨNG DỤNG BƠM LASER RẮN PHA TẠP YTTERBIUM 
Nguyễn Thanh Phƣơng 
Viện Vật lý Kỹ thuật, Trường Đại học Bách khoa Hà Nội 
Ngày nhận bài 01/7/2018, ngày nhận đăng 20/8/2018 
Tóm tắt: Để xây dựng các hệ laser rắn có pha tạp Ytterbium, laser bơm cần có 
bước sóng nằm trong vùng 976 nm và có khả năng dịch chuyển bước sóng. Laser phản 
hồi phân bố (laser DFB) là một lựa chọn tốt cho ứng dụng này do đáp ứng được các 
yêu cầu trên đồng thời có cấu tạo gọn nhỏ. Do đó, việc khảo sát các tính chất quang 
điện, tính chất phổ và phân bố không gian trường xa của laser DFB là rất cần thiết 
nhằm cung cấp thông tin một cách đầy đủ và chính xác nhất cho các ứng dụng. 
1. Mở đầu 
Laser bán dẫn công suất cao phát xạ vùng bước sóng 976 nm đóng vai trò quan 
trọng trong các ứng dụng bơm laser rắn. Đặc biệt, trong ứng dụng chế tạo laser có pha 
tạp Ytterbium (Yb) [1, 3, 6], do cửa sổ vùng hấp thụ của Yb nằm trong vùng từ 970 nm 
đến 980 nm nên bước sóng laser bơm phải được lựa chọn phù hợp và đảm bảo tính ổn 
định. Để sử dụng làm nguồn bơm cho laser rắn đòi hỏi hệ laser nguồn có kích thước gọn 
nhỏ, khả năng điều chỉnh bước sóng dễ dàng cho phù hợp với cửa sổ hấp thụ, phân bố 
không gian chùm tia hẹp và ổn định. Với các yêu cầu trên, laser bán dẫn phản hồi phân 
bố (distributed feedback laser, viết tắt là laser DFB) phát xạ vùng 976 nm là một lựa 
chọn tối ưu do có cấu tạo đơn chíp, dễ dàng điều khiển bước sóng bằng nguồn bơm. Với 
ý tưởng như vậy, việc khảo sát đầy đủ các tính chất quang điện cũng như phân bố không 
gian trường xa của laser DFB có một ý nghĩa quan trọng, quyết định điều kiện làm việc 
tối ưu của linh kiện. Công suất phát quang của laser DFB 976 nm được đo tại nhiệt độ 
phòng, xác định công suất cực đại trong khả năng làm việc và thế rơi trên chuyển tiếp 
phụ thuộc dòng bơm. Tính chất phổ và phân bố không gian phụ thuộc dòng bơm cũng 
được khảo sát nhằm cung cấp các thông tin cần thiết nhất, xác định các điều kiện làm 
việc tối ưu cho ứng dụng bơm laser rắn. 
2. Phƣơng pháp thực nghiệm 
Laser DFB 976 nm có cấu trúc lớp tích cực InGaAs và cách tử được tạo trong 
buồng cộng hưởng với chu kỳ cách tử 150 nm để lọc lựa bước sóng. Chíp laser có chiều 
rộng w = 4 m và chiều dài chíp L = 2 mm. Buồng cộng hưởng được tạo ra bằng cách 
cắt mặt tinh thể và phủ lớp phản xạ mặt sau là Rsau = 95%, phản xạ mặt trước là Rtrước = 
0,1%. Toàn bộ chíp được hàn trên đế CuW và đóng vỏ C-mount. 
Công suất laser và thế đặt vào chuyển tiếp phụ thuộc dòng bơm được khảo sát 
trên hệ đo như hình 1. Nguồn nuôi Thorlabs ITC 4005 cấp dòng cho laser cần đo; nguồn 
này cho phép điều khiển nhiệt độ hoạt động của laser thông qua pin Peltier. Thế rơi trên 
chuyển tiếp của laser hiển thị trực tiếp trên kênh đo thế của nguồn nuôi. Tín hiệu quang 
. 
Email: phuong.nguyenthanh@hust.edu.vn 
N. T. Phương / Nghiên cứu các đặc trưng của laser bán dẫn công suất cao phản hồi phân bố phát xạ 
 40 
được đưa đến đầu thu photodiode được đặt ngay sát laser để thu toàn bộ bức xạ của laser. 
Máy đo công suất quang dải rộng Melles Griot 13 PEM00 được kết nối với photodiode 
hiển thị kết quả thu được. 
Để khảo sát đặc trưng phổ của laser, hệ đo được bố trí như hình 1, tuy nhiên máy 
đo công suất được thay thế bằng phổ kế Ocean Optics HR4000 và kết nối máy tính. 
Hình 1: Hệ đo đặc trưng công suất quang và thế phụ thuộc dòng bơm 
Khảo sát phân bố không gian trường xa của chùm laser phụ thuộc dòng bơm được 
bố trí như hình 2. Lúc này, phía trước cách laser một khoảng 10 cm đặt một màn chắn 
màu trắng có thể truyền qua một phần tín hiệu laser. Phía sau màn chắn đặt một CCD 
camera có kết nối máy tính để chụp ảnh của chùm tia thu được trên màn. Hình ảnh chùm 
tia được xử lý trên máy tính cho ta phân bố không gian theo phương thẳng đứng và 
phương ngang. Đối với laser DFB, hầu hết được thiết kế chỉ tồn tại các mode cơ bản nên 
chùm tia được coi là có phân bố Gauss [4]. Do đó, với kết quả đo phân bố không gian có 
thể xác định được góc phân kỳ theo hai hướng. 
Hình 2: Hệ khảo sát phân bố không gian chùm laser 
Trường Đại học Vinh Tạp chí khoa học, Tập 47, Số 2A (2018), tr. 39-44 
 41 
3. Kết quả và thảo luận 
Laser DFB 976 nm được cung cấp dòng đến 600 mA ở nhiệt độ 25oC - là vùng 
nhiệt độ làm việc thường xuyên của laser trong các ứng dụng. Sự phụ thuộc của công 
suất quang và thế rơi trên chuyển tiếp của laser vào dòng bơm được thể hiện trên hình 3. 
Laser có dòng ngưỡng Ith = 40 mA, đạt công suất cực đại P = 350 mW tại 600 mA. Dòng 
bơm giới hạn tại 600 mA để đảm bảo an toàn cho laser trong quá trình hoạt động không 
bị hỏng do hiệu ứng đánh thủng bề mặt gương. Laser có mật độ công suất tại 600 mA đạt 
8,75 MW/cm
2
, giá trị này dưới ngưỡng của hiệu ứng đánh thủng đối với laser nền vật 
liệu GaAs (10 MW/ cm2) [1]. Hiệu suất độ dốc đạt 0,65 W/A, thế rơi trên chuyển tiếp 
nằm trong vùng từ 1,4 đến 2,8 V. 
Hình 3: Đặc trưng công suất quang (đường liền nét) và thế (đường đứt nét) 
phụ thuộc dòng bơm của laser DFB 976 nm đo tại nhiệt độ 25oC 
Hình 4: Đặc trưng phổ của laser DFB 976 nm tại 25oC và công suất quang P = 100 mW 
0 100 200 300 400 500 600
0
50
100
150
200
250
300
350
400
C
«
n
g
 s
u
Ê
t 
q
u
a
n
g
 P
 /
 m
W
H
iÖ
u
 ®
iÖ
n
 t
h
Õ
 U
 /
 V
Dßng ®iÖn I / mA
0.0
0.5
1.0
1.5
2.0
2.5
3.0
975 976 977 978
-80
-70
-60
-50
-40
-30
-20
-10
C
-
ê
n
g
 ®
é
 t
-
¬
n
g
 ®
è
i 
/ 
d
B
B-íc sãng / nm
976,18 nm
53 dB
N. T. Phương / Nghiên cứu các đặc trưng của laser bán dẫn công suất cao phản hồi phân bố phát xạ 
 42 
Từ thông tin về đặc trưng công suất, tiến hành đo đặc trưng phổ của laser, đặc 
biệt là phổ phụ thuộc dòng bơm. Hình 4 là đặc trưng phổ của laser đang khảo sát tại nhiệt 
độ T = 25oC và công suất quang lối ra P = 100 mW. Bước sóng laser tại vị trí này là 
976,33 nm và tỉ số tín hiệu trên nhiễu là 53 dB. Bước sóng này hoàn toàn phù hợp với 
yêu cầu ứng dụng. 
Để có thông tin đầy đủ về bước sóng và khả năng dịch chuyển bước sóng theo 
dòng bơm, chúng tôi đo phổ laser phụ thuộc dòng bơm. Đồ thị 3 chiều biểu diễn sự phụ 
thuộc của bước sóng vào dòng bơm như hình 5. Ở đây, dòng bơm bắt đầu từ ngưỡng phát 
Ith = 40 mA cho tới 600 mA, mỗi lần đo thay đổi dòng 10 mA. Tại vùng gần ngưỡng có 
hiện tượng bước sóng laser thay đổi từ 975,97 nm đến 976,18 nm. Bước sóng chênh lệch 
0,21 nm do hiện tượng nhảy mode trong laser DFB [5]. Từ 50 nm đến 600 nm bước sóng 
dịch tuyến tính theo dòng bơm từ 976,18 nm đến 977,40 nm. Như vậy độ dịch bước sóng 
là  I = 0,0022 nm/mA. 
Hình 5: Sự dịch chuyển bước sóng phụ thuộc dòng bơm của laser DFB 976 nm 
tại nhiệt độ 25oC 
Tính chất dịch chuyển bước sóng theo dòng bơm là một đặc trưng riêng của các 
laser DFB, laser có cấu tạo cách tử trong buồng cộng hưởng. Khi dòng bơm hoặc nhiệt 
độ tăng, chu kỳ cách tử tăng lên, dẫn đến bước sóng của laser dịch chuyển về phía bước 
sóng dài [5]. Như vậy, laser DFB 976 nm có thể dễ dàng thay đổi bước sóng trong dải 
phù hợp với việc bơm các laser có cấu trúc pha tạp Yb. 
Trong quá trình thay đổi dòng, việc khảo sát phân bố không gian của chùm tia là 
rất quan trọng. Hình 6 là phân bố trường xa của chùm tia theo phương thẳng đứng song 
song với cấu trúc p-n (hình 6a) và theo phương ngang của laser (hình 6b) tại nhiệt độ 
25
o
C và dòng bơm I = 170 mA (tương ứng công suất quang ra P = 100 mW). Góc phân 
kỳ được xác định theo phương thẳng đứng là 24,1o và phương ngang là 10o. Như vậy mặt 
cắt của chùm tia có dạng hình elip và toàn bộ chùm tia có dạng Gauss trong không gian. 
100 200 300 400 500 600
975
976
977
978
Dßng ®iÖn I / mA
B
-
í
c
 s
ã
n
g
 
 /
 n
m
Trường Đại học Vinh Tạp chí khoa học, Tập 47, Số 2A (2018), tr. 39-44 
 43 
a) b) 
Hình 6: Phân bố trường xa của laser DFB 976 nm theo phương thẳng đứng (a) 
và phương ngang (b) tại 25oC và dòng bơm 170 mA 
Tiến hành khảo sát sự ổn định của phân bố không gian trường xa của chùm tia 
trong quá trình thay đổi dòng bơm, chúng tôi thay đổi dòng từ 40 mA tới 600 mA với 
bước dịch 10 mA (hình7). Cường độ bức xạ tương đối thể hiện bằng các đường đồng 
mức. Kết quả khảo sát cho thấy, khi dòng bơm tăng, độ rộng chùm tia có thay đổi, phần 
cường độ bức xạ mạnh ở trung tâm chùm tia nở rộng hơn, tuy nhiên vị trí trung tâm của 
chùm tia ổn định trong suốt quá trình khảo sát. Như vậy, trong suốt quá trình hoạt động, 
việc thay đổi dòng bơm không làm xê dịch trung tâm chùm tia. 
Hình 7: Phân bố trường xa của laser DFB 976 nm phụ thuộc dòng bơm 
-40 -20 0 20 40
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
FWHM =24.1°
C
«
n
g
 s
u
Ê
t 
/ 
®
.v
.t
.®
ph©n bè tr-êng xa theo ph-¬ng th¼ng ®øng / ®é
-15 -10 -5 0 5 10 15
0.0
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
ph©n bè tr-êng xa theo ph-¬ng ngang / ®é
C
«
n
g
 s
u
Ê
t 
/ 
®
.v
.t
.®
FWHM =10°
0.10
0.20
0.30 0.40
0.50
0.60 0.70 0.80
0.90
0.90
0.800.70 0.600.500.40
0.30
0.20
0.10
1.01.0 0.901.0 1.0 1.01.01.0
1.0
1.0 1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
1.01.01.0
100 200 300 400 500 600
P
h
©
n
 b
è
 t
r-
ê
n
g
 x
a
 t
h
e
o
 p
h
-
¬
n
g
 n
g
a
n
g
/ 
®
é
Dßng ®iÖn I /mA
-20
-15
-10
-5
0
5
10
15
20
N. T. Phương / Nghiên cứu các đặc trưng của laser bán dẫn công suất cao phản hồi phân bố phát xạ 
 44 
4. Kết luận 
Khảo sát đầy đủ các tính chất quang điện và phân bố không gian trường xa của 
chùm tia cho thấy laser DFB 976 nm hoàn toàn phù hợp với ứng dụng bơm laser rắn có 
pha tạp Yb. Công suất quang lối ra của laser có thể đạt được đến 350 mW tại nhiệt độ 
25
o
C và dòng bơm 600 mA. Mật độ công suất tại cực đại trong vùng khảo sát là 8,75 
MW/cm
2, đảm bảo dưới ngưỡng của hiệu ứng đánh thủng đối với laser trên nền vật liệu 
GaAs. Hiệu suất biến đổi quang điện tương đối cao, đạt 0,65 W/A. Thế rơi trên chuyển 
tiếp thay đổi từ 1,4 V đến 2,8 V. Laser DFB 976 nm dễ dàng thay đổi bước sóng bằng 
cách thay đổi dòng bơm cho phù hợp với dải hấp thụ của Yb với độ dịch bước sóng là 
0,0022 nm/mA. Trong suốt quá trình thay đổi bước sóng, phân bố không gian trường xa 
của laser ổn định. Với các thông số khảo sát trên, laser DFB 976 nm đã xác lập được chế 
độ làm việc tối ưu cho các ứng dụng bơm laser rắn pha tạp Yb. 
TÀI LIỆU THAM KHẢO 
[1] D. Botez, High-power, Al-free diode lasers, Compound Semiconductor 5(6), 1999, 
24-29. 
[2] J. Kong et. al., High-efficiency 1040 and 1078 nm laser emission of a Yb:Y2O3 
ceramic laser with 976 nm diode pumping, Optics Letters, Vol. 32, No. 3, 2007, 247-
249. 
[3] P. Sévillano et al., Pumping Yb-doped bulk materials with 976 nm fiber lasers, 
in Advanced Solid State Lasers, OSA Technical Digest (online), Optical Society of 
America, 2014, paper AF1A.1. 
[4] H. Sun, A Practical Guide to Handling Laser Diode Beams, Springer Briefs in 
Physics, USA, 2015. 
[5] F. Traeger, Springer Handbook of Lasers and Optics, Springer 2007. 
[6] Y. Wang et al., 30/900 Yb-doped Aluminophosphosilicate Fiber Presenting 6.85-kW 
Laser Output Pumped With Commercial 976-nm Laser Diodes, Journal of Lightwave 
Technology, Vol. 36, Issue 16, 2018, 3396-3402. 
SUMMARY 
CHARACTERIZATION OF DISTRIBUTED FEEDBACK HIGH POWER 
DIODE LASERS EMITTING IN NIR REGION APPLYING 
FOR PUMPING YTTERBIUM DOPED SOLID STATE LASERS 
In setup of Ytterbium-doped solid-state lasers, the wavelength of pumping laser 
should be around 976 nm and tunable. Distributed Feedback (DFB) high power diode 
lasers are particular candidates because of their compactness. Therefore, characterization 
of electro-optics, spectral and spatial beam properties are very necessary to provide 
usefull information for the applications.